静电放电发生器ESD的电流和电压的校准方法

静电放电发生器是试验设备中最主要的部分，
测试过程中要确认是设计问题还是静电放电模拟器本身的问题，
我们可以用静电放电校准靶心和法拉第笼来校准电流波形，
用高阻高压表或者高压探棒校准开路电压。

静电放电发生器的输出电压的指示值是静电放电发生器储能电容两端的充电电压，
但并不是所有的静电放电发生器都能够很容易地从储能电容两端接线。


在不方便接线时可以从静电放电发生器的输出端放电电阻处测量，
由于放电电阻的阻值为（50~100）MΩ，
因此要求高压测量线路的输入阻抗足够高，
一般为10GΩ，否则必须修正测量结果。
校准静电放电发生器的电压时，
让静电放电发生器工作在接触放电模式或空气放电模式，
将静电放电发生器的放电电极与高压表的输入端相连接，
分别测量不同设定电压下的开路输出电压。


特制的铜靶面2Ω电阻应有1GHz的带宽，
安装在法拉第笼侧面的钢板上，
放电电极的尖端应与电流传感器直接且充分的接触，
同时静电放电发生器应以接触放电的方式工作，
从静电放电校准标靶上取得的电压信号送入至少1GHz带宽的示波器上进行测量。